產品名稱: 高純硅烷|SiH4|Silane
其他名稱: 單硅烷、硅甲烷、甲硅烷、四氫化硅、Silane、Monosilane、Sil-icon tetrahydride、Silicon hydride.
分子式: SiH4
UN No. UN 2203
CAS No. 7803-62-5
產品純度:99.999~99.9999%，電子級硅烷，半導體級硅烷，高純硅烷
包裝說明:43L DOT鋼瓶，鋼瓶尺寸23 × 130cm ，316L SS材質閥門，閥門型號CGA350，10kg/瓶
產品說明: 硅烷在常溫常壓下為無色、有毒、非常活躍的壓縮氣體，。在室溫下著火，在空氣或鹵素氣體中發生爆炸性燃燒。即使用其它氣體稀釋，如果濃度不夠低.仍能自燃。硅烷在氬氣中含2%、氮氣中含2.5%、氫氣中含1%時，它仍能著火。硅烷濃度在小于1%時不燃，大于3%時自燃，1%～3%時可能燃燒。硅烷是強還原劑，與重金屬鹵化物激烈反應，與氯、溴發生爆炸性反應，與四氯化碳激烈反應。因此對硅烷不能使用氟里昂滅火劑。硅烷不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿和四氯化硅。不與潤滑油、脂肪反應。對幾乎所有的金屬無腐蝕性。有時，玻璃中的堿成分也能分解硅烷。溶解在二硫化碳中的硅烷遇到空氣也可發生爆炸。硅烷廣泛用于硅的外延生長、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料，太陽能電池，光導纖維，有色玻璃制造，化學氣相淀積。
注意事項: 工作場所要通風，保持室內空氣干燥。裝置要嚴格密封，避免和空氣、水分相接觸，為此，用氣裝置在使用前要用惰性氣體置換里面的空氣后抽真空，這樣反復進行置換和抽真空，一定要去除系統中的空氣和水分。裝置使用以后，也要用惰性氣體置換清洗系統中的硅烷。可以用氦探漏器探漏。少量硅烷泄漏時，從氧化硅粉末的折出中也可以得知。鋼瓶要存放在陰涼干燥通風良好之處，要遠離熱源和氯、溴等氧化劑。工作場所要配備足夠的防護用品及應急用品。硅烷本身無腐蝕性，可以使用碳鋼、不銹鋼、銅、黃銅、蒙乃爾、耐蝕鎳基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合體、尼龍、三氟氯乙烯樹脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用鉛、橡膠、脂肪、潤滑油、玻璃。凡是可燃性的有機高分子材料應該避免使用。當硅烷大量泄漏時。緊接著就要著火，所以無法用滅火器滅火。但是可以控制火勢，使火災不向周圍蔓延。燃燒時輻射熱不太高，所以應盡可能去關閉閥門以止住氣體的流出。可用白雪石粉或石墨粉熄火。廢氣可用水或堿吸收，或者在特殊燃燒器中燃燒成SiO2之后用專門的過濾器捕捉。儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與易(可)燃物、氧化劑分開存放，切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。密閉操作，局部排風。操作人員必須經過專門培訓，嚴格遵守操作規程。建議操作人員佩戴過濾式防毒面具(半面罩)。遠離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應急處理設備。
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